A review of papers on simulation of physical-chemical properties and chemical composition of plasma, generated in the hydrogen and its isotopes in the ion sources is presented. The results of numerical simulation of the ionization and dissociation kinetics of molecular hydrogen in glow discharge and penning discharge plasma are given.
physical and chemical kinetics, molecular hydrogen, Penning discharge, non-equilibrium processes
В данной работе приводится обзор работ по моделированию физико-химических свойств и химического состава плазмы, образующейся в источниках ионов водорода и его изотопов. Приводятся результаты численного моделирования кинетики ионизации и диссоциации молекулярного водорода в плазме тлеющего и пеннинговского разряда.
кинетика ионизации и диссоциации, молекулярный водород, пеннинговский разряд, неравновесные физико-химические процессы
