Процессы роста кластеров в магнетронном разряде



Processes of cluster growth in the magnetron DC plasma

The analysis of the processes occurs in magnetron discharge volume involving metal atoms is presented. The model for cluster generation and growth during condensation of metal vapor, which forming as a result of cathode erosion, is developed. In the frame of the originating model we calculate the efficiency of the cluster generation.


Том 6, 2008 год



В данной работе производится анализ процессов, происходящих в области магнетронного разряда с участием атомов металла. Строится модель для описания процессов рождения и роста кластеров при конденсации паров металла, полученных вследствие эрозии катода. На основании построенной модели производится расчет эффективности работы такой установки.


Том 6, 2008 год



[1]. Skumryev V., Stoyanov S., Zhang Y., Hadjipanayis G., Givord D., and Nogués J., Nature (London) 2003, 423, 850853.
[2]. Gupta P. K. and Hung C. T., Life Sci. 1989, 44, 175 .
[3]. Mornet S., Lambert O., Duguet E., and Brisson A., Nano Lett. 2005, 5, 281.
[4]. Chouly C., Pouliquen D., Lucet L., Jeune J. J., and Jallet P., J. Microencapsul. 1996 13, 245.
[5]. Mornet S., Vasseur S., Grasset F., and Duguet E., J. Mater. Chem. 2004, 14, 2161.
[6]. Kim D. K., Mikhaylova M., Zhang Y., and Muhammed M., Chem. Mater. 2003, 15, 1617, and Refs. 4, 8, and 9 therein.
[7]. Wu E. X., Tang H. Y., and Jensen J. H., NMR Biomed. 2004, 17, 478.
[8]. Gupta A. K. and Curtis A. S. G., Biomaterials 2004, 25, 3029.
[9]. Cheng F. Y., Su C. H., Yang Y. S., Yeh C. S., Tsai C. Y., Wu C. L., Wu M. T., and Shieh D. B., Biomaterials 2005, 26, 729.
[10]. Herrman A., Leutwyler S., Schumacher E., and Woeste L., Helv. Chim Acta 1978, 61, 453.
[11]. Dietz T. G., Duncan M. A., Powers D. E., and Smalley R. E., J. Chem. Phys. 1981, 74, 6511.
[12]. Echt O., Sattler K., and Recknagel E., Phys. Rev. Lett. 1981, 47, 1121.
[13]. Kappes M. M., Kunz R. W., and Schumacher E., Chem. Phys. Lett. 1982, 91, 413.
[14]. Hopkins J. B., Langridge-Smith P. R. R., Morse M. D., and Smalley R. E., J. Chem. Phys. 1982, 78, 1627 .
[15]. Rohlfing E. A., Cox D. M., and Kaldor A., Chem. Phys. Lett. 1983, 99, 161.
[16]. Whetten R. L., Cox D. M., Trevor D. J., and Kaldor A., J. Phys. Chem. 1985, 89, 566.
[17]. Jarrold M. and Bower J., J. Chem. Phys. 1986, 85, 5373.
[18] Milani P. and deHeer W. A., Rev. Sci. Instrum. 1990, 61, 1835 .
[19]. Eberhardt W., Fayet P., Cox D. M., Fu Z., Kaldor A., Sherwood R., and Sondericker D., Phys. Scr. 1990, 41, 892.
[20]. Gantefoer G., Siekmann H. R., Lutz H. O., and Meiwes-Broer K.-H., Chem. Phys. Lett. 1990, 165, 293 ().
[21]. Nakajima A., Hoshino K., Naganuma T., Sone Y., and Kaya K., J. Chem. Phys. 1991, 95, 7061.
[22]. Fayet P., Patthey F., Roy H.-V., Denzel Th., and Schneider W.-D., Surf. Sci. 1992, 269/270, 1101.
[23]. Fedrigo S., Harbich W., and Buttet J., Phys. Rev. B 47, 10 706 (1993).
[24]. Heiz U., Vanolli F., Trento L., and Schneider W.-D., Rev. Sci. Instrum. 1997, 68, 1.
[25]. Aitken R.J., Creely K.S., Tran C.L., Nanoparticles: An occupational hygiene review http://www.hse.gov.uk/RESEARCH/rrpdf/rr274.pdf
[26]. Haberland H, von Issendorff B, Yufeng Ji, Kolar T Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 3212.
[27]. Haberland H e.a. J. Vac. Sci. Technol. A 1992, 10, 3266
[28]. Haberland H e.a. Mater. Sci. Engin. B 1993, 19, 31
[29]. Haberland H, von Issedorff B, Yufeng Ji, Kolar T, Thanner G Zs.Phys. D 1993,26, 8
[30]. Haberland H, Mall M, Moseler M, Qiang Y, Reiners T, Thurner Y J. Vac. Sci.Technol. 1994, 12A, 2925.
[31]. Haberland H, ed. Clusters of atoms and molecules New York, Springer-Verlag, 1994.
[32]. Haberland H e.a. Proc. Int. Conf. on Beam Proces. Adv. Mater. Cleveland, USA,1995
[33]. Haberland H e.a. Surf. Rev. Lett. 1996, 3 887
[34] Каштанов П.В, Смирнов Б.М., Хиплер Р. УФН. 2007, 177, 473
[35]. Смирнов Б.М.УФН. 1994, 164, №7, 665.
[36]. Смирнов Б.М.УФН. 1997, 167, №11, 1169
[37]. Smirnov B M Clusters and Small Particles in Gases and Plasmas. New York, Springer N.Y., 2000.
[38]. Bai J., Xu Y.-H., Thomas J. and Wang J.-P., Nanotechnology 2007, 18, 1
[39]. Qiu J.-M. and Wang J.-P., App Phys Let. 2006, 88, 192505
[40]. Bai J. and Wang J.-P., App Phys Let. 2005, 87, 152502
[41]. Stoyanov S., Huang Y., Zhang Y., Skumryev V., and Hadjipanayis G. C., Weller D., J. App. Phys 2003, 93, N 10, 7190.