Физико-химическая
кинетика
в газовой
динамике
Физико-химическая
кинетика
в газовой
динамике
Содержание
О журнале
Авторам
Редколлегия
Контакты
Freescale Semiconductor
Авторы
Статьи
Моделирование роста пленки в процессе атомного осаждения слоев
Том 4, 2006 год
Русский
Просмотр статьи
PDF, 667,3 КБ