In the framework of linear electrodynamics (in this case neglect the dependence of the dielectric tensor components of the plasma from the electromagnetic field excited by an external generator power) An approximate (estimated) mathematical model of the physical processes in the RF source helicon-type low-temperature rarefied plasma, which solves the problem of finding a self-consistent mathematical relationship between the injected power, the plasma parameters and electromagnetic fields excited in cylindrically symmetric RF plasma source. In the group on the experimental and calculated data are initially separate verification of the results of numerical calculations performed using the approximate mathematical model developed by RF plasma source helicon type.
Inductive plasma model, helicon discharge, ionization
Построена приближенная математическая модель ВЧ-источника геликонного типа, которая позволяет решить самосогласованную задачу нахождения математических связей между вкладываемой мощностью, параметрами плазмы и электромагнитными полями, возбуждаемыми в цилиндрически симметричном ВЧ-источнике плазмы. На группе экспериментальных и расчетных данных произведена первоначальная верификация отдельных результатов численных расчетов, выполненных с использованием разработанной приближенной математической модели.
Высокочастотная модель, геликоновый разряд, ионизация
