The analysis of the processes occurs in magnetron discharge volume involving metal atoms is presented. The model for cluster generation and growth during condensation of metal vapor, which forming as a result of cathode erosion, is developed. In the frame of the originating model we calculate the efficiency of the cluster generation.
В данной работе производится анализ процессов, происходящих в области магнетронного разряда с участием атомов металла. Строится модель для описания процессов рождения и роста кластеров при конденсации паров металла, полученных вследствие эрозии катода. На основании построенной модели производится расчет эффективности работы такой установки.
